數(shù)字式四探針測試儀技術(shù)文章

 數(shù)字式四探針測試儀技術(shù)文章

SZT-4數(shù)字式四探針測試儀，是二量程的電阻測量儀器，配以手持式測試頭或座式測試架，可用來測量片狀，柱狀，或塊狀，電阻率在0.01~200歐姆/厘范圍內(nèi)的半導(dǎo)體材料。(客戶根據(jù)不同的要求可以選擇不同的量程，Z小可以測量0.0001Ω Z大可以測量100000Ω,根據(jù)電流檔定精度)通過對恒流源的調(diào)整，可以對某些測量結(jié)果進(jìn)行修整，例如對普通硅材料的測試結(jié)果要乘以0.628的探險頭修正系數(shù)，對硅材料薄層擴散和導(dǎo)電薄膜 “方塊電阻“ 的修正系數(shù)為4.53等均可通過調(diào)正恒流電流加以處理。SZT－4數(shù)字式四探針測試儀，體形小巧，操作方便，量程適中，十分適於對重?zé)捇亓系姆诌x。
本儀器工作環(huán)境條件為：
溫　　度：18℃―25℃
相對濕度：60%－80%
工作室內(nèi)應(yīng)無強電場干擾，不與高頻設(shè)備共用電源。
二，SZT-4數(shù)字式四探針測試儀技術(shù)參數(shù)
1,測量范圍
電 阻 率:0.01-200Ω-cm
方塊電阻:0.01-200Ω-口
電    阻:0.01-200.0
2,數(shù)字電壓表 
(1)量    程:200mV單一量程
(2)誤    差:讀數(shù) ±0.2%±3字
(3)輸入電阻:>10MΩ
3,恒流源
(1)電流輸出:0~10mA連續(xù)可調(diào)
(2)量    程:1mA, 10mA
(3)誤    差:±0.2%±3字,
4,手持式四探針測試頭
(1)探  針  間  距:1mm
(2)探針機械游移率:±1.0%
(3)探  針  材  料:碳化鎢,φ0.
(4)壓力:Z大 2Kg
5,電源:220V±10%：50Hz
功耗：5W
6，外形尺寸：
7，使用方法：取出儀器平放於桌上，將三芯電源線接入儀器的電源插座中，并接通交流電壓（220V），再將測試探頭的插頭插入相應(yīng)的插座中，按下電源開關(guān)使儀器得電，儀器上的數(shù)字電壓表就有讀數(shù)顯示，如果面板上的二個功能開關(guān)全部處於彈出狀態(tài)，則二個開關(guān)旁邊的“調(diào)整"指示燈和：“1mA"指示燈將被點亮，此時旋轉(zhuǎn)電流調(diào)節(jié)旋鈕電壓表讀數(shù)就會發(fā)生有規(guī)則的變化，這說明儀器已經(jīng)可以正常工作。
下一步就可以跟據(jù)測試的須要對電流進(jìn)行調(diào)整。電流調(diào)整應(yīng)該將電流開關(guān)放在10mA的位置上。
8，電流調(diào)整：
（1）半導(dǎo)體（硅）材料的電阻率測試：在10mA電流量程上將電流調(diào)到6.28mA,相當(dāng)于在10mA電流情況下測得的結(jié)果,乘以探頭修正系數(shù)0.628。由於恒流源的調(diào)整，1mA和10mA是同步的，在`10mA調(diào)準(zhǔn)以后1mA量程同樣包含有這個修正系數(shù)。
（2）半導(dǎo)體（硅）材料薄層擴散，玻璃或塑料的薄導(dǎo)電鍍復(fù)層的方塊電阻 測試:在10mA電流量程上將電流調(diào)至4.53mA, 測得結(jié)果乘以10,就是方塊電阻。
（3）電阻測試：電阻測試不能使用探頭，必須換用帶有鱷魚夾子的四線插頭“電阻測試線"（選配件）。電流調(diào)到10mA,電壓表的顯示值就是電阻值，不用修正。
（4）在做好測試前的準(zhǔn)備工作之后，取下探頭保護(hù)蓋，將探頭壓在被測工件上，使四根探針和工件保持良好接觸，
使用時的注意事項；
（1）保護(hù)蓋取下后一定要保存好，用畢仍要蓋好，以防探針損壞。
（2）儀器操作時，應(yīng)備戴乾燥手套，操作場地，桌椅均應(yīng)保持乾燥。
（3）在被測材料外形尺寸允許的情況下，建議使用臺式測試架（選購件），可使測試精度和穩(wěn)定性都會有所提高。
（4）對於被測工件為片狀其厚度<3.49毫米時,還應(yīng)對測試結(jié)果進(jìn)行厚度修正,修正參數(shù)見參數(shù)表,附錄`1A和附錄1B 。
（5）附錄2，是對片狀工件外形（園形，矩形）和測量位置的修正參數(shù)表。